Mikro- och nanoteknik I
Kursplan, Avancerad nivå, 1TE015
- Kod
- 1TE015
- Utbildningsnivå
- Avancerad nivå
- Huvudområde(n) med fördjupning
- Kvantteknologi A1N, Materialteknik A1N, Teknik A1N
- Betygsskala
- Med beröm godkänd, icke utan beröm godkänd, godkänd, underkänd
- Fastställd av
- Teknisk-naturvetenskapliga fakultetsnämnden, 23 april 2012
- Ansvarig institution
- Institutionen för materialvetenskap
Behörighetskrav
120 hp inom teknik/naturvetenskap, inklusive Halvledarelektronik eller Fasta tillståndets fysik I eller Materialkemi.
Mål
Syftet med denna kurs är att introducera mikro- och nanoteknik utifrån tillämpning och konstruktion.
Efter godkänd kurs ska studenten kunna
- definiera grundläggande begrepp inom mikro- och nanoteknik,
- analysera hur olika fysikaliska fenomen skalar när dimensionerna krymper och hur detta påverkar mikro- och nanosystem,
- motivera materialval inom mikro- och nanoteknik utifrån funktionella, produktionstekniska, och ekonomiska faktorer,
- förklara tillvägagångssätt, och redogöra för möjligheter och begränsningar med de grundläggande tillverkningstekniker som används inom mikro- och nanotekniken,
- sätta in olika sensor- och aktuatorprinciper i sitt sammanhang och analysera och motivera val av principer för olika tillämpningar.
Innehåll
Skalning av fenomen och egenskaper när dimensionerna krymper. Materialegenskaper och funktion, framförallt rörande kisel. Grundtekniker såsom litografi, deponering, våt- och torretsning, bondning, och viktiga faktorer så som selektivitet, etshastighet och utbyte. Mikrosensorers och mikroaktuatorers funktion och tillämpning. Industriella och ekonomiska aspekter.
Undervisning
Föreläsningar, mindre projekt individuellt eller i grupp, laborationer och studiebesök.
Examination
Skriftlig tentamen vid kursens slut (3 hp) samt studiebesök, godkända laborationer och projektuppgifter (2 hp).
Litteraturlista
- Litteraturlista giltig från och med höstterminen 2023, version 2
- Litteraturlista giltig från och med höstterminen 2023, version 1
- Litteraturlista giltig från och med höstterminen 2022
- Litteraturlista giltig från och med höstterminen 2021
- Litteraturlista giltig från och med höstterminen 2020
- Litteraturlista giltig från och med höstterminen 2019
- Litteraturlista giltig från och med vårterminen 2013, version 2
- Litteraturlista giltig från och med vårterminen 2013, version 1
- Litteraturlista giltig från och med höstterminen 2012
- Litteraturlista giltig från och med höstterminen 2010