Behörighetskrav

120 hp inom teknik/naturvetenskap, inklusive Halvledarelektronik eller Fasta tillståndets fysik I eller Materialkemi.

Mål

Syftet med denna kurs är att introducera mikro- och nanoteknik utifrån tillämpning och konstruktion.

Efter godkänd kurs ska studenten kunna:

• definiera grundläggande begrepp inom mikro- och nanoteknik,
• analysera hur olika fysikaliska fenomen skalar när dimensionerna krymper och hur detta påverkar mikro- och nanosystem,
• motivera materialval inom mikro- och nanoteknik utifrån funktionella, produktionstekniska, och ekonomiska faktorer,
• förklara tillvägagångssätt, och redogöra för möjligheter och begränsningar med de grundläggande tillverkningstekniker som används inom mikro- och nanotekniken,
• sätta in olika sensor- och aktuatorprinciper i sitt sammanhang och analysera och motivera val av principer för olika tillämpningar.

Innehåll

Skalning av fenomen och egenskaper när dimensionerna krymper. Materialegenskaper och funktion, framförallt rörande kisel. Grundtekniker såsom litografi, deponering, våt- och torretsning, bondning, och viktiga faktorer så som selektivitet, etshastighet och utbyte. Mikrosensorers och mikroaktuatorers funktion och tillämpning. Industriella och ekonomiska aspekter.

Undervisning

Föreläsningar, mindre projekt individuellt eller i grupp, laborationer, seminarium och studiebesök.

Examination

Skriftlig tentamen vid kursens slut (3 hp) samt studiebesök, aktivt deltagande i seminariet, laborationer och projektuppgifter (2 hp).

Om särskilda skäl finns får examinator göra undantag från det angivna examinationssättet och medge att en enskild student examineras på annat sätt. Särskilda skäl kan t.ex. vara besked om särskilt pedagogiskt stöd från universitetets samordnare för studenter med funktionsnedsättning.