Behörighetskrav

Mikrostrukturteknik eller Processteknik för

mikrostrukturer.

Syfte

Mikrostrukturteknik II är en fortsättningskurs inom området som ska ge ökad kompetens att arbeta i eller med företag som tillverkar mikrostrukturer.

Efter kursen skall teknologen kunna:

· redogöra för och motivera val av olika processteknologier och material som används inom mikrostrukturering: bl.a. strukturering i glas, LIGA (en litografi-teknik), elektroplätering, polymer replikering, framställning av analoga mikrostrukturer, användning av kisel som formmaterial.

· redogöra för begrepp inom modellering, design, montering och kapsling av mikrostrukturer.

· beskriva mikrostrukturers användningsområden inom fluidik, optik, elektronik, sensorer och aktuatorer.

· beskriva praktiska aspekter i renrumsarbete.

Innehåll

Kursen ger kunskap om de material, utöver kisel, och de metoder för design och tillverkning som används inom området:

· Avancerade mikrostrukturteknologier inom: nanoteknologi, ny litografi, beläggning och avverkning, replikering.

· Grunderna för mikrostrukturteknologi i modellering, design, montering och kapsling.

· Tillämpningsområden för mikrostrukturer: inom fluidik, optik, elektronik, sensorer och aktuatorer.

Laborationer: Framställning av polymerbaserade mikrostrukturer för mikrofluidal tillämpning respektive för RF-MEMS.

Undervisning

Föreläsningar och laborationer.

Examination

Till lika delar hemuppgifter och skriftlig tentamen vid kursens slut som grund till betygssättning. Godkända laborationer och rapporter. Hemuppgifterna låter teknologerna arbeta i grupp för att inskaffa kunskaper i ämnet under en längre tid, med start efter ungefär halva kurstiden.