uu.se
Student
Medarbetare
Alumn
uu.se
Sök
Sök. Sökförslagen presenteras under sökrutan.
Sök
Sök kurser och program
English
Meny
Utbildning
Kurser och program
Ämnesområden
Bostad och ekonomi
Uppsala eller Visby?
Studentliv
Anmälan och antagning
Utbildning för yrkesverksamma
Forskarutbildning
Kontakt
Forskning
Samverkan och innovation
Om universitetet
Kontakt och organisation
För dig som är:
Student
Medarbetare
Alumn
Gå direkt till:
Bibliotek
Press
Nyheter
Kalendarium
Stöd Uppsala universitet
Uppsala universitet
Utbildning
Litteraturlista
Utbildning
Kurser och program
Ämnesområden
Bostad och ekonomi
Uppsala eller Visby?
Studentliv
Anmälan och antagning
Utbildning för yrkesverksamma
Forskarutbildning
Kontakt
Forskning
Samverkan och innovation
Om universitetet
Kontakt och organisation
Mikrostrukturteknik II
3 poäng
Litteraturlista, D-nivå, 1TM542
Giltig från och med höstterminen 2007
Giltig från och med vårterminen 2005
Huvudgrupp 1
Madou, Marc J.,
Fundamentals of microfabrication: the science of miniaturization
, 2. ed., Boca Raton, CRC Press, cop. 2002
Kursplan
Kursplan giltig från och med höstterminen 2007
Kursplan giltig från och med vårterminen 2005
