Kursplan för Mikro- och nanoteknik I

Micro- and Nanotechnology I

Kursplan

  • 5 högskolepoäng
  • Kurskod: 1TE015
  • Utbildningsnivå: Avancerad nivå
  • Huvudområde(n) och successiv fördjupning: Teknik A1N, Kvantteknologi A1N, Materialteknik A1N

    Förklaring av koder

    Koden visar kursens utbildningsnivå och fördjupning i förhållande till andra kurser inom huvudområdet och examensfordringarna för generella examina:

    Grundnivå

    • G1N: har endast gymnasiala förkunskapskrav
    • G1F: har mindre än 60 hp kurs/er på grundnivå som förkunskapskrav
    • G1E: innehåller särskilt utformat examensarbete för högskoleexamen
    • G2F: har minst 60 hp kurs/er på grundnivå som förkunskapskrav
    • G2E: har minst 60 hp kurs/er på grundnivå som förkunskapskrav, innehåller examensarbete för kandidatexamen
    • GXX: kursens fördjupning kan inte klassificeras

    Avancerad nivå

    • A1N: har endast kurs/er på grundnivå som förkunskapskrav
    • A1F: har kurs/er på avancerad nivå som förkunskapskrav
    • A1E: innehåller examensarbete för magisterexamen
    • A2E: innehåller examensarbete för masterexamen
    • AXX: kursens fördjupning kan inte klassificeras

  • Betygsskala: Underkänd (U), godkänd (3), icke utan beröm godkänd (4), med beröm godkänd (5)
  • Inrättad: 2010-03-16
  • Inrättad av: Teknisk-naturvetenskapliga fakultetsnämnden
  • Reviderad: 2022-10-20
  • Reviderad av: Teknisk-naturvetenskapliga fakultetsnämnden
  • Gäller från: HT 2023
  • Behörighet:

    120 hp inom teknik/naturvetenskap, inklusive Halvledarelektronik, Fasta tillståndets fysik I eller Fasta tillståndets fysik F, Materialkemi eller Introduktion till materialteknik. Engelska 6. (Med en svensk kandidatexamen uppfylls kravet på engelska.) 

  • Ansvarig institution: Institutionen för materialvetenskap

Mål



Efter godkänd kurs ska studenten kunna:

  • definiera grundläggande begrepp inom mikro- och nanoteknik, samt aktuator- och sensorteknik,
  • analysera hur olika fysikaliska fenomen skalar när dimensionerna krymper och hur detta påverkar mikro- och nanosystem,
  • analysera hur olika fysikaliska fenomen kan utnyttjas för sensor- och aktuatorfunktioner,
  • argumentera för materialval inom mikro- och nanoteknik utifrån funktionella, produktionstekniska, och ekonomiska faktorer,
  • förklara tillvägagångssätt, och redogöra för möjligheter och begränsningar med de grundläggande tillverkningstekniker som används inom mikro- och nanotekniken,
  • förklara och argumentera för valet av olika mikro- och miniatyraktuatorer i olika tillämpningar
  • förklara och argumentera för valet av olika mikrosensorer i olika tillämpningar.

Innehåll

Syftet med denna kurs är att introducera mikro- och nanoteknik utifrån tillämpning och konstruktion.

Skalning av fenomen och egenskaper när dimensionerna krymper. Materialegenskaper och funktion, framförallt rörande kisel. Grundtekniker såsom litografi, deponering, våt- och torretsning, bondning, och viktiga faktorer så som selektivitet, etshastighet och utbyte. Mikrosensorers och mikroaktuatorers funktion och tillämpning. Industriella och ekonomiska aspekter.

Undervisning

Föreläsningar, laborationer, seminarium och studiebesök.

Examination

Skriftlig tentamen (3 hp). Studiebesök, aktivt deltagande i seminariet och laborationer (2 hp).

Om särskilda skäl finns får examinator göra undantag från det angivna examinationssättet och medge att en enskild student examineras på annat sätt. Särskilda skäl kan t.ex. vara besked om särskilt pedagogiskt stöd från universitetets samordnare för studenter med funktionsnedsättning.

Litteratur

Litteraturlista

Gäller från: HT 2023

I bibliotekets söktjänst kan du se om en titel finns elektroniskt.

  • Franssila, Sami. Introduction to Microfabrication [Elektronisk resurs]

    2nd ed.: Hoboken: John Wiley & Sons, Ltd., 2010

    Se bibliotekets söktjänst

    Obligatorisk

  • Edwin Dertien, ; Paul P.L. Regtien, "Sensors for Mechatronics, 2nd Edition" [Elektronisk resurs]

    2018

    Se bibliotekets söktjänst

    Obligatorisk

Kompendier och utdelat föreläsningsmaterial.