Kursplan för Mikro- och nanoteknik I

Micro- and Nanotechnology I

  • 5 högskolepoäng
  • Kurskod: 1TE015
  • Utbildningsnivå: Avancerad nivå
  • Huvudområde(n) och successiv fördjupning: Teknik A1N, Materialteknik A1N

    Förklaring av koder

    Koden visar kursens utbildningsnivå och fördjupning i förhållande till andra kurser inom huvudområdet och examensfordringarna för generella examina:

    Grundnivå
    G1N: har endast gymnasiala förkunskapskrav
    G1F: har mindre än 60 hp kurs/er på grundnivå som förkunskapskrav
    G1E: innehåller särskilt utformat examensarbete för högskoleexamen
    G2F: har minst 60 hp kurs/er på grundnivå som förkunskapskrav
    G2E: har minst 60 hp kurs/er på grundnivå som förkunskapskrav, innehåller examensarbete för kandidatexamen
    GXX: kursens fördjupning kan inte klassificeras.

    Avancerad nivå
    A1N: har endast kurs/er på grundnivå som förkunskapskrav
    A1F: har kurs/er på avancerad nivå som förkunskapskrav
    A1E: innehåller examensarbete för magisterexamen
    A2E: innehåller examensarbete för masterexamen
    AXX: kursens fördjupning kan inte klassificeras.

  • Betygsskala: Underkänd (U), godkänd (3), icke utan beröm godkänd (4), med beröm godkänd (5)
  • Inrättad: 2010-03-16
  • Inrättad av: Teknisk-naturvetenskapliga fakultetsnämnden
  • Reviderad: 2021-03-26
  • Reviderad av: Teknisk-naturvetenskapliga fakultetsnämnden
  • Gäller från: vecka 26, 2022
  • Behörighet: 120 hp inom teknik/naturvetenskap, inklusive Halvledarelektronik eller Fasta tillståndets fysik I eller Materialkemi.
    Engelska 6. (Med en svensk kandidatexamen uppfylls kravet på engelska.)
  • Ansvarig institution: Institutionen för materialvetenskap

Mål

Syftet med denna kurs är att introducera mikro- och nanoteknik utifrån tillämpning och konstruktion.

Efter godkänd kurs ska studenten kunna:

  • definiera grundläggande begrepp inom mikro- och nanoteknik, samt aktuator- och sensorteknik,
  • analysera hur olika fysikaliska fenomen skalar när dimensionerna krymper och hur detta påverkar mikro- och nanosystem,
  • analysera hur olika fysikaliska fenomen kan utnyttjas för sensor- och aktuatorfunktioner,
  • argumentera för materialval inom mikro- och nanoteknik utifrån funktionella, produktionstekniska, och ekonomiska faktorer,
  • förklara tillvägagångssätt, och redogöra för möjligheter och begränsningar med de grundläggande tillverkningstekniker som används inom mikro- och nanotekniken,
  • förklara och argumentera för valet av olika mikro- och miniatyraktuatorer i olika tillämpningar
  • förklara och argumentera för valet av olika mikrosensorer i olika tillämpningar.

Innehåll

Skalning av fenomen och egenskaper när dimensionerna krymper. Materialegenskaper och funktion, framförallt rörande kisel. Grundtekniker såsom litografi, deponering, våt- och torretsning, bondning, och viktiga faktorer så som selektivitet, etshastighet och utbyte. Mikrosensorers och mikroaktuatorers funktion och tillämpning. Industriella och ekonomiska aspekter.

Undervisning

Föreläsningar, laborationer, seminarium och studiebesök.

Examination

Skriftlig tentamen vid kursens slut (3 hp) samt studiebesök, aktivt deltagande i seminarietoch laborationer (2 hp).

Om särskilda skäl finns får examinator göra undantag från det angivna examinationssättet och medge att en enskild student examineras på annat sätt. Särskilda skäl kan t.ex. vara besked om särskilt pedagogiskt stöd från universitetets samordnare för studenter med funktionsnedsättning.

Litteratur

Uppgift om kurslitteratur saknas. Ta kontakt med ansvarig institution för mer information.