Kursplan för Mikro- och nanoteknik I

Mål

Efter godkänd kurs ska studenten kunna:

• definiera grundläggande begrepp inom mikro- och nanoteknik, samt aktuator- och sensorteknik,
• analysera hur olika fysikaliska fenomen skalar när dimensionerna krymper och hur detta påverkar mikro- och nanosystem,
• analysera hur olika fysikaliska fenomen kan utnyttjas för sensor- och aktuatorfunktioner,
• argumentera för materialval inom mikro- och nanoteknik utifrån funktionella, produktionstekniska, och ekonomiska faktorer,
• förklara tillvägagångssätt, och redogöra för möjligheter och begränsningar med de grundläggande tillverkningstekniker som används inom mikro- och nanotekniken,
• förklara och argumentera för valet av olika mikro- och miniatyraktuatorer i olika tillämpningar
• förklara och argumentera för valet av olika mikrosensorer i olika tillämpningar.

Innehåll

Syftet med denna kurs är att introducera mikro- och nanoteknik utifrån tillämpning och konstruktion.

Skalning av fenomen och egenskaper när dimensionerna krymper. Materialegenskaper och funktion, framförallt rörande kisel. Grundtekniker såsom litografi, deponering, våt- och torretsning, bondning, och viktiga faktorer så som selektivitet, etshastighet och utbyte. Mikrosensorers och mikroaktuatorers funktion och tillämpning. Industriella och ekonomiska aspekter.

Undervisning

Föreläsningar, laborationer, seminarium och studiebesök.

Examination

Skriftlig tentamen (3 hp). Studiebesök, aktivt deltagande i seminariet och laborationer (2 hp).

Om särskilda skäl finns får examinator göra undantag från det angivna examinationssättet och medge att en enskild student examineras på annat sätt. Särskilda skäl kan t.ex. vara besked om särskilt pedagogiskt stöd från universitetets samordnare för studenter med funktionsnedsättning.