Vi erbjuder

Anläggning

Myfab Uppsala erbjuder Sveriges största akademiska renrum. Beroende på verksamhetstyp och krav varierar renrumsklassificeringen för de olika områdena inom anläggningen från klass 100 000 (ISO 8) till klass 100 (ISO 5).

Temperatur och luftfuktighet kontrolleras noggrant, och en tredjedel av anläggningen är byggd på en separat grund för vibrationsdämpning i enlighet med VC-E-vibrationskriterierna. Anläggningstjänsterna omfattar egen produktion av DI-vatten, distribution av vanliga gaser samt kemispecifika avlopps- och avgasningssystem. Alla installationer uppfyller de högsta kvalitetsstandarderna.

En hög nivå av personsäkerhet upprätthålls genom avancerade detekterings- och larmsystem, nödutrustning och tydligt markerade utrymningsvägar.

Ett särskilt område inom renrummet är reserverat uteslutande för er verksamhet. Beroende på tillgänglighet kan viss inredning, såsom bänkar, skåp och dragskåp, tillhandahållas. I allmänhet utrustas dock området av hyresgästen efter godkännande av laboratorieledningen.

Utrustning

Detaljerad lista på den utrustning som finns hos oss

Forskningsverktygen och laboratorieverksamheten är indelade i tre enheter, var och en med ett antal olika discipliner.

Materialanalys

• Elektronmikroskopi och fokuserad jonstråle
• Kemisk analys
• Metrologi och ytkaraktärisering

Materialsyntes

• Högtemperaturbearbetning
• Tunnfilmsdeposition
• Backend-bearbetning

Mikro- och nanostrukturering

• Litografi
• Våtkemisk bearbetning
• Torr etsning
• 3D-tillverkning