Tunnfilmsteknik I
5 hp
Kursplan, Avancerad nivå, 1TE016
Det finns en senare version av kursplanen.
- Kod
- 1TE016
- Utbildningsnivå
- Avancerad nivå
- Huvudområde(n) med fördjupning
- Fysik A1F, Kemi A1F, Materialteknik A1F, Teknik A1F
- Betygsskala
- Med beröm godkänd (5), Icke utan beröm godkänd (4), Godkänd (3), Underkänd (U)
- Fastställd av
- Teknisk-naturvetenskapliga fakultetsnämnden, 3 maj 2013
- Ansvarig institution
- Institutionen för materialvetenskap
Behörighetskrav
130 hp inom teknik/naturvetenskap, inklusive genomgången kurs i Materialanalys.
Mål
Efter godkänd kurs ska studenten kunna
- beskriva och använda modeller för kärnbildning och filmtillväxt,
- redogöra för samband mellan deponeringsteknik, filmernas struktur och deras egenskaper,
- redogöra för skillnader och likheter mellan moderna deponeringstekniker för tunna filmer,
- argumentera för val av deponeringsteknik för olika applikationer.
Innehåll
Deponering med olika plasmaprocesser och PVD-processer som förångning och sputtring samt plätering och olika varianter av CVD (CVD, LPCVD, ALD, PECVD, PEALD). Substratytans betydelse för filmtillväxt och olika metoder för att tillgodose kraven på substratytan såsom plasmaetsning och kemomekanisk polering. Modeller för kärnbildning och filmtillväxt. Teoretisk modellering inom deponeringsteknik. Morfologi och textur och deras inverkan på filmernas egenskaper.
Undervisning
Föreläsningar, lektioner och demonstrationer.
Examination
Skriftlig tentamen vid kursens slut (4 hp). Godkända laborationer (1 hp).
Litteraturlista
- Litteraturlista giltig från och med höstterminen 2023, version 2
- Litteraturlista giltig från och med höstterminen 2023, version 1
- Litteraturlista giltig från och med höstterminen 2022
- Litteraturlista giltig från och med vårterminen 2020
- Litteraturlista giltig från och med höstterminen 2019
- Litteraturlista giltig från och med vårterminen 2016
- Litteraturlista giltig från och med höstterminen 2013
- Litteraturlista giltig från och med höstterminen 2011
- Litteraturlista giltig från och med höstterminen 2010