Tunnfilmsteknik I
5 hp
Litteraturlista, Avancerad nivå, 1TE016
Huvudgrupp 1
- Smith, Donald L., Thin-film deposition: principles and practice, New York, McGraw-Hill, cop. 1995
- Martin, Peter M., Handbook of deposition technologies for films and coatings: science, applications and technology, 3rd ed., Amsterdam, Elsevier Science, 2010
Kursplan
- Kursplan giltig från och med höstterminen 2025
- Kursplan giltig från och med höstterminen 2023, version 2
- Kursplan giltig från och med höstterminen 2023, version 1
- Kursplan giltig från och med höstterminen 2022
- Kursplan giltig från och med vårterminen 2020
- Kursplan giltig från och med höstterminen 2019
- Kursplan giltig från och med höstterminen 2016
- Kursplan giltig från och med höstterminen 2013
- Kursplan giltig från och med höstterminen 2011
- Kursplan giltig från och med höstterminen 2010