Tunnfilmsteknik I

5 hp

Kursplan, Avancerad nivå, 1TE016

Det finns en senare version av kursplanen.
Kod
1TE016
Utbildningsnivå
Avancerad nivå
Huvudområde(n) med fördjupning
Fysik A1F, Kemi A1F, Materialteknik A1F, Teknik A1F
Betygsskala
Med beröm godkänd, icke utan beröm godkänd, godkänd, underkänd
Fastställd av
Teknisk-naturvetenskapliga fakultetsnämnden, 26 mars 2021
Ansvarig institution
Institutionen för materialvetenskap

Behörighetskrav

130 hp inom teknik/naturvetenskap, inklusive genomgången kurs i Materialanalys. Engelska 6. (Med en svensk kandidatexamen uppfylls kravet på engelska.)

Mål

Efter godkänd kurs ska studenten kunna:

  • diskutera skillnader och likheter mellan vakuumbaserade deponeringstekniker för tunna filmer,
  • bedöma och använda modeller för kärnbildning och filmtillväxt,
  • värdera samband mellan deponeringsteknik, filmernas struktur och deras egenskaper,
  • diskutera vanliga tillämpningsområden för tunna filmer,
  • motivera val av deponeringsteknik för olika tillämpningar.

Innehåll

Deponering med olika PVD-processer som förångning, sputtring och plätering samt olika varianter av kemiska beläggningsmetoder (CVD och ALD). Användning av plasmaprocesser för tillväxt av tunna filmer. Fundamentala kemiska och fysikala processer inom området tunnfilmsteknik. Substratytans betydelse för filmtillväxt och olika metoder för att tillgodose kraven på substratytan såsom plasmaetsning och kemomekanisk polering. Modeller för kärnbildning och filmtillväxt. Morfologi och textur och deras inverkan på filmernas egenskaper. Tillämpningar för olika tunnfilmsmaterial och deponeringsmetoder.

Undervisning

Föreläsningar, seminarier och demonstrationer.

Examination

Skriftlig tentamen vid kursens slut (4 hp). Laborationer (1 hp).

Om särskilda skäl finns får examinator göra undantag från det angivna examinationssättet och medge att en enskild student examineras på annat sätt. Särskilda skäl kan t.ex. vara besked om särskilt pedagogiskt stöd från universitetets samordnare för studenter med funktionsnedsättning.

FÖLJ UPPSALA UNIVERSITET PÅ

facebook
instagram
twitter
youtube
linkedin