Behörighetskrav

Vågrörelselära. Matematisk statistik

Syfte

Efter fullgjord kurs skall studenten kunna:

• Jämföra prestanda, t.ex. vad gäller upplösning eller mätområde, för olika tekniker för avbildning och mätning av ytor.

• Motivera val av metod för avbildning och/eller mätning av olika typer av ytor utifrån given frågeställning.

• Definiera vanliga ytfinhetsparametrar, samt analysera mätresultat för olika ytor bestämda med olika mätmetoder.

• Beskriva uppbyggnaden av och principen för avbildning med olika typer av svepelektronmikroskop (SEM).

• Beskriva principen för avbildning och profilmätning med optiska metoder, såsom ljusmikroskop, interferensmikroskop och konfokalmikroskop.

• Beskriva principen för instrument och avbildning med svepspetsmikroskop, speciellt sveptunnelmikroskop (STM) och atomkraftsmikroskop (AFM).

• Förklara avbildningens eller mätningens kvalitet utifrån växelverkan mellan prob (elektronstråle, ljusstråle eller nål) och provyta och instrument-inställningar.

• Använda ett enklare SEM.

I kursen får studenterna dessutom träna muntlig redovisning.

Innehåll

Tekniker för avbildning och mätning av ytor. Beskrivning av ytor med ytfinhetsparametrar. Ljusoptisk mikroskopi (LOM), svepelektronmikroskopi (SEM), svepspetsmikroskopi (främst STM och AFM). Optiska metoder för ytprofilometri: Konfokalmikroskopi och Interferensmikroskopi. Ytprofilometri med mekaniska släpnålar. Jämförelse mellan olika tekniker.

Laborationer: Praktiska övningar med SEM, ljusmikroskop, AFM samt optisk ytprofilmätare. Totalt 3-4 dagar.

Undervisning

Föreläsningar och laborationer.

Examination

Skriftlig tentamen vid kursens slut. Godkända laborationer.