Mikrostrukturteknik

3 poäng

Kursplan, C-nivå, 1TM541

Kursen är avvecklad.

Det finns en senare version av kursplanen.

Kod: 1TM541
Nivå: C
Ämne(n): Teknik
Betygsskala: Med beröm godkänd (5), Icke utan beröm godkänd (4), Godkänd (3), Underkänd (U)
Fastställd av: Teknisk-naturvetenskapliga fakultetsnämnden, 1 juni 2005
Ansvarig institution: Institutionen för teknikvetenskaper

Behörighetskrav

Halvledarfysik eller Halvledarteknologi eller Fasta tillståndets fysik I eller Materialfysik eller Kvantmekanik fk.

Att ge kunskaper om mikrostrukturteknikens

tillverkningsmetoder och användningsområden.

Materialkunskap på mikronivå om kisel, kvarts,

III-V-halvledare. Grundtekniker såsom litografi,

depositionsmetoder, anisotrop och isotrop

våtetsning, dopningsselektiv etsning, torretsning,

bondning, ytmikrotillverkning och

mikroreplikering. Mättekniker. Applikationer

inom sensorer, aktuatorer och integrerade

mikrosystem.

Laborationer:

Tillverkning av mikromekanisk komponent.

Våtetsning i kisel (2 dagar).

Föreläsningar, och laborationer.

Skriftlig och/eller muntlig tentamen vid kursens slut. För godkännande fordras även godkänd laborationskurs.