Behörighetskrav

Grundkurs i Mikrostrukturteknik.

Syfte

Att ge kunskaper om sensorer och aktuatorer som finns inom mikrosystem. Att ge förståelse för de fysikaliska fenomen och materialegenskaper som utnyttjas i dessa system.

Efter kursen skall studenten kunna:

• redogöra för och motivera val av mikrosensorer och -aktuatorer baserade på olika principer.

• redovisa beräkningar för att motivera design av ett fåtal typer av mikrosensorer; t.ex. Hall-sensorer, accelerometrar, tryckgivare som arbetar med piezoresistiv eller kapacitiv avkänning.

• förstå grunderna för de olika mikroaktuatormekanismerna.

• beskriva mikrosensorers och -aktuatorers användningsområden.

• beskriva praktiska aspekter i karaktärisering av mikrosensorer.

Innehåll

Mikrosensorers funktion och applikation. Materialegenskaper som utnyttjas för mikrosensorer. Mekaniska, termiska, magnetiska och (bio)kemiska sensorer som är mikrostrukturerade.

Översikt av aktuatorer för att skapa kraft och/eller rörelse i mikrosystem. Aktuatormaterial och aktuatormekanismer.

Exempel på tillämpningar av mikroaktuatorer och sensorer. Industriella aspekter belyses.

Undervisning

Föreläsningar och laborationer.

Examination

Skriftlig eller muntlig tentamen vid kursens slut. Godkända laborationer.