Behörighetskrav

Grundkurser i elektromagnetism och atom- och molekylfysik.

Mål

Efter fullgjord kurs skall studenten kunna:

• ge användbara kriterier för plasmaassisterade processer
• fastställa relationer mellan en process och egenskaper hos den behandlade ytan och/eller materialet
• göra uppskattningar av processparametrar och plasmaegenskaper
• välja lämplig reaktordesign och passande sätt för generering av plasma
• fastställa lämplighet av enskilda typer av plasma för tillämpning i material- och ytskiktsteknik, bioteknik, i nanobiotillämpningar och i miljöteknik
• utvärdera utrustning vad gäller olika plasmaassisterade tekniker

Innehåll

Plasmaassisterade tekniker, grundläggande kännetecken. Generering av gasurladdningsplasma. Grundläggande plasmadiagnostik. Generering av förångade ämnen i plasma, deras transport och växelverkan med ytor. Kriterier för processval. Principer och design av konventionella och nya plasmakällor. Mikrovågsplasma. Afterglow-reaktorer. Pulsat plasma. Grunder för radikal- och jonassisterad plasmakemi. Hybridplasma och hybridprocesser. Kallt plasma vid atmosfärs- och subatmosfärstryck och dess tillämpningar. Nya trender inom plasmateknik.

Undervisning

Föreläsningar, demonstrationer, seminarier och projektarbete.

Examination

Obligatoriska uppgifter och kortare prov under kursens gång samt skriftlig och muntlig redovisning av projektarbete vid kursens slut.

Övriga föreskrifter

Kursen kan inte tillgodoräknas i examen tillsammans med 1TG180, Tillämpad plasma.