Behörighetskrav

Halvledarfysik eller Halvledarteknologi eller Fasta tillståndets fysik I eller Materialfysik eller Kvantfysik fk.

Syfte

Att ge kunskaper om mikrostrukturteknikens tillverkningsmetoder och användningsområden.

Innehåll

Materialkunskap på mikronivå, framförallt om kisel, men även om material som bearbetas på liknande sätt, såsom kvarts, III-V-halvledare och SiC (kiselkarbid).Grundtekniker såsom litografi, depositionsmetoder, anisotrop och isotrop våtetsning, dopningsselektiv etsning, torretsning, bondning och ytmikrotillverkning. Mättekniker. Applikationer inom sensorer, aktuatorer och integrerade mikrosystem.

Laboration: Tillverkning av mikromekanisk komponent i kisel (2 dagar).

Undervisning

Föreläsningar, laborationer och företagsbesök.

Examination

Skriftlig och/eller muntlig tentamen vid kursens slut. För godkännande fordras även godkänd laborationskurs.