Processteknik för mikrostrukturer
3 poäng
Litteraturlista, C-nivå, 1TT605
Huvudgrupp 1
Sze, S.M., Semiconductor Devices, Physics and Technology, John Wiley&Sons, 1985.
Litteraturlista, C-nivå, 1TT605
Sze, S.M., Semiconductor Devices, Physics and Technology, John Wiley&Sons, 1985.