Behörighetskrav

Elektrofysik och Kvantfysik II eller motsvarande kunskaper.

Syfte

Att ge kunskaper om modern processteknologi

avseende mikrostrukturer, och mikroelektronik.

Innehåll

Materialkunskap på mikronivå om kisel, kvarts och

III-V-halvledare. Bastekniker såsom litografi,

epitaxi, oxidation, diffusion, jonimplantation.

CVD, metallisering, bondning, isotrop och anisotrop

våtetsning, dopningsselektiv etsning, torretsning,

ytmikrotillverkning, mikroreplikering och

processimulering.

Applikationer inom sensorer, aktuatorer mm.

Laborationer: Mikromekaniska

tillverkningsmetoder. Våtetsning i kisel.

Undervisning

Föreläsningar, lektioner och laborationer.

Examination

Skriftlig och/eller muntlig tentamen samt godkända laborationer.