Huvudgrupp 1

Litteratur fastställs individuellt för varje projektgrupp.

• Hsu, Tai-Ran, MEMS and microsystems: design, manufacture, and nanoscale engineering, 2. ed., Hoboken, N.J., John Wiley, c2008

Huvudgrupp 2

http://www.loc.gov/catdir/toc/ecip0716/2007017041.html

Litteratur fastställs även individuellt för varje projektgrupp.