Processteknologi för halvledarkomponenter
Kursplan, Avancerad nivå, 1TE041
Kursen är avvecklad.
- Kod
- 1TE041
- Utbildningsnivå
- Avancerad nivå
- Huvudområde(n) med fördjupning
- Teknik A1F
- Betygsskala
- Underkänd (U), godkänd (3), icke utan beröm godkänd (4), med beröm godkänd (5)
- Fastställd av
- Teknisk-naturvetenskapliga fakultetsnämnden, 6 maj 2013
- Ansvarig institution
- Institutionen för teknikvetenskaper
Behörighetskrav
120 hp inklusive Halvledarelektronik.
Mål
Efter kursen har studenterna grundläggande kunskaper i de processtekniker som används vid framställning av mikro- och nanostrukturer för tillverkning av främst avancerade halvledarkomponenter samt halvledarbiosensorer.
Efter godkänd kurs ska studenten kunna:
- redogöra för processflöde för framställning av halvledarkomponenter och integrerade kretsar (IC),
- redogöra för processflöde för framställning av mikrostrukturer ämnade för mikrosystemteknologi (MST),
- beskriva vissa processtekniker på en djupare nivå; dess fysik och genomförande,
- använda simuleringsprogram för simulering av enskilda processer och fullständiga processflöden.
Innehåll
CMOS processteknologi, MST-processteknologi, halvledarmaterial, materialkaraktärisering, elektrisk karaktärisering, fotolitografi, oxidering, deponeringstekniker, torr- och våtetsning, jonimplantering, diffusionsprocesser, silicideringprocesser, metallisering, processimulering, samt renrumsuppbyggnad och funktion.
Undervisning
Föreläsningar och laborationer
Examination
Skriftlig tentamen vid kursens slut (4 hp). Laborationer (1 hp).