Behörighetskrav

130 hp inom teknik/naturvetenskap. Mikro- och Nanoteknik I ska vara genomgången.

Mål

Syftet med denna kurs är att bidra till fördjupad förståelse i mikro- och nanoteknik utifrån halvledarteknik, biosensorer, kemiska sensorer, mikrooptik och mikofluidik.

Efter godkänd kurs ska studenten kunna

• förklara och skilja mellan begrepp inom halvledarteknik, kemiska sensorer, RF-MEMS, mikrooptik och mikrofluidik,
• förklara och analysera hur halvledarkomponenter fungerar,
• analysera och förklara hur och varför halvledarteknik och funktionella material utnyttjas i olika biosensorer och kemiska sensorer,
• redogöra för användningen av polymera material inom mikro- och nanoteknik, materialegenskaper, tillverkningsteknik, och materialens möjligheter och begränsningar, främst för områdena mikrofluidik och mikrooptik,
• utifrån givna frågeställningar, urskilja och granska publikationer relevanta för området,
• identifiera ett sammansatt mikrosystem, förklara och urskilja dess beståndsdelar, och värdera systemets för- och nackdelar.

Innehåll

Grunderna för olika halvledarkomponenter såsom dioder och transistorer och de bakomliggande fysikaliska principerna. Principer som används i kemiska sensorer och biosensorer. Tillverkningsteknik, användning av, och egenskaper hos, polymera material och komponenter inom t.ex. mikrofluidik och mikrooptik.

Undervisning

Föreläsningar, mindre projekt både individuellt och i grupp, laborationer och studiebesök.

Examination

Skriftlig tentamen vid kursens slut (3 hp) samt studiebesök, godkända laborationer och projektuppgifter (2 hp).