Mikro- och nanoteknik I

5 hp

Kurs, Avancerad nivå, 1TE015

Hösten 2024 Hösten 2024, Uppsala, 33 %, Campus, Svenska

Om kursen

Skalning av fenomen och egenskaper när dimensionerna krymper. Materialegenskaper och funktion, framförallt rörande kisel. Grundtekniker såsom litografi, deponering, våt- och torretsning, bondning, och viktiga faktorer så som selektivitet, etshastighet och utbyte. Mikrosensorers och mikroaktuatorers funktion och tillämpning. Industriella och ekonomiska aspekter.

FÖLJ UPPSALA UNIVERSITET PÅ

facebook
instagram
youtube
linkedin