Mikro- och nanoteknik I

5 hp

Kurs, Avancerad nivå, 1TE015

Hösten 2023 Hösten 2023, Uppsala, 33 %, Campus, Svenska Ges endast inom program

Hösten 2024 Hösten 2024, Uppsala, 33 %, Campus, Svenska

Om kursen

Skalning av fenomen och egenskaper när dimensionerna krymper. Materialegenskaper och funktion, framförallt rörande kisel. Grundtekniker såsom litografi, deponering, våt- och torretsning, bondning, och viktiga faktorer så som selektivitet, etshastighet och utbyte. Mikrosensorers och mikroaktuatorers funktion och tillämpning. Industriella och ekonomiska aspekter.

FÖLJ UPPSALA UNIVERSITET PÅ

facebook
instagram
twitter
youtube
linkedin